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变温环境下小型光电编码器精度检测系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙树红
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小型光电编码器  精度检测  变温环境  基准编码器  
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 03, 页码: 232-239
作者:  李晓天;  巴音贺希格;  齐向东;  于海利;  唐玉国
caj(1210Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：422/115  |  提交时间：2014/03/07
光栅  平面光栅  光栅刻线弯曲  光栅刻线位置误差  衍射波前  光栅指标