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Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Yao, C. and Y. Gong
浏览  |  Adobe PDF(1605Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：233/47  |  提交时间：2017/09/11