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Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
浏览  |  Adobe PDF(791Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/107  |  提交时间：2017/09/11