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用数字干涉仪辅助装调真空紫外干涉光谱仪的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2003-10-15, 公开日期: 2003-10-15
发明人:  王淑荣;  李福田
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反应杯清洗机构 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2003-10-15, 公开日期: 2003-10-15
发明人:  刘伟
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一种波长扫描机构 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2003-09-10, 公开日期: 2003-09-10
发明人:  宋克非
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