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Effect of thickness non-uniformity of large-area grating metal film on grating diffraction wavefront 期刊论文
Optics and Laser Technology, 2019, 卷号: 119, 页码: 6
作者:  X.T.Mi;  S.W.Zhang;  X.D.Qi;  H.Z.Yu;  J.X.Zhou;  S.B.Jiang
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Gratings,Metal film thickness non-uniformity,Grating diffraction,wavefront error,echelle gratings,error,resolution,Optics,Physics