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亚波长介质光栅的制作误差分析 期刊论文
光子学报, 2004, 期号: 01, 页码: 76-80
作者:  曹召良;  卢振武;  李凤有;  孙强;  任智斌;  赵晶丽
caj(89Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：424/73  |  提交时间：2013/03/11
亚波长  光栅  方向误差  面形误差  Rcwa  衍射效率