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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
 caj(8435Kb) |  收藏 | 浏览/下载：161/0 | 提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者: Dong, L.; Q. Cui; P. Li and L. Zhao
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| Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者: Xu, M.-F.; W.-B. Pang; X.-R. Xu; X.-H. Wang and W. Huang
浏览 | Adobe PDF(487Kb) | 收藏 | 浏览/下载：301/76 | 提交时间：2017/09/11 |
| Sub-nanometer precision optical fabrication of CaF2materials 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 11
作者: Zhang, C.-L.; L. Xu; J. Liu; Z.-L. Ma; F. Wang; Y.-Q. Gu; L. Dai and S.-J. Peng
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| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo
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| Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988
作者: Zhang, D.; C. Ge; X. Li; M. Ni; K. Guo and P. Li
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| 基于迭代方法的的高精度非球面补偿镜设计与检测 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 李乐
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非球面检测 补偿镜 迭代 公差分配 折射率均匀性 |
| 双光谱融合电晕检测系统设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 庞飞龙
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双光谱融合 电晕检测 Dm8148 日盲紫外探测 |
| 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298
作者: 张德福; 李显凌
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光学器件 深紫外光刻 投影物镜 像差补偿 偏心调节机构 调节力 面形 |
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 赵菲菲
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计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
