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Blazed silicon gratings fabricated by deflecting crystal orientation (111)silicon wafer 期刊论文
Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems, 2005, 卷号: 4, 期号: 1
作者:  Ju H.;  Zhang P.;  Liang J. Q.;  Wang S. R.;  Wu Y. H.
Adobe PDF(200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/116  |  提交时间：2012/10/21