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Analysis of the dynamic behaviour of a torsional micro-mirror 期刊论文
Microsystem Technologies-Micro-and Nanosystems-Information Storage and Processing Systems, 2007, 卷号: 13, 期号: 1, 页码: 61-70
作者:  Sun D. M.;  Dong W.;  Liu C. X.;  Chen W. Y.;  Kraft M.
Adobe PDF(846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/115  |  提交时间：2012/10/21