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Effects of RF power on properties of ZnO thin films grown on Si(001) substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition 期刊论文
Journal of Crystal Growth, 2003, 卷号: 249, 期号: 1—2, 页码: 179-185
作者:  Li B. S.;  Liu Y. C.;  Shen D. Z.;  Zhang J. Y.;  Lu Y. M.;  Fan X. W.
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