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离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 05, 页码: 116-121
作者:  彭石军;  苏东奇;  苗二龙
caj(1055Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/89  |  提交时间：2016/07/06
测量  离焦补偿  曲率半径  立式干涉仪