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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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通道型偏振光谱仪望远镜组偏振效应分析与优化
期刊论文
液晶与显示, 2023, 卷号: 38, 期号: 12, 页码: 1728-1735
作者:
李作恩
;
鞠学平
;
胡春晖
;
颜昌翔
;
赵雪梅
;
杨斌
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提交时间:2024/08/16
Design and Fabrication of Multi-Notch Filter with High Transmittance and Optical Density for GREGOR Telescope System
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2023, 卷号: 50, 期号: 13
作者:
Y. Chang, X. Fu, G. Zhang, J. Zhang, C. Li and S. Shigeng
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提交时间:2024/07/01
Research progress of gas absorption spectrum detection technology based on photonic crystal fiber
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2021, 卷号: 29, 期号: 10
作者:
J. Li
;
H. Yan and J. Meng
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提交时间:2022/06/13
飞秒脉冲激光对硅基多层膜损伤特性
期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 02, 页码: 371-381
作者:
郑长彬
;
邵俊峰
;
李雪雷
;
王化龙
;
王春锐
;
陈飞
;
王挺峰
;
郭劲
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提交时间:2020/08/24
激光烧蚀
激光损伤
硅基多层膜
损伤阈值
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Extreme ultraviolet lithography
Fabrication
Mirrors
Reflection
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:
Dai, Cen
;
Gong, Yan
;
Zhang, Hao
;
Li, Dian-Meng
;
Xue, Jin-Lai
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Coatings
Confocal microscopy
Defects
Diffraction
Extreme ultraviolet lithography
Microstructure
微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:
戴岑
;
巩岩
;
张昊
;
李佃蒙
;
薛金来
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提交时间:2019/09/17
共焦显微
微分干涉差
标量衍射
膜层结构
缺陷探测
Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:
Wang, Y.
;
Q. Lu and Y. Gao
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提交时间:2018/06/13
Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:
Zhang, C.
;
J. Zhang
;
Y. Wang
;
S. Kuang and Y. Xie
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浏览/下载:342/99
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提交时间:2018/06/13
极紫外光学器件辐照污染检测技术
期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者:
王珣
;
金春水
;
匡尚奇
;
喻波
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提交时间:2015/04/17
极紫外光刻
碳污染检测
光纤椭偏仪