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光栅刻线缺陷检验装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-08, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  吴宏圣;  曾琪峰;  乔栋;  张吉鹏;  孙强;  甘泽龙
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一种平面全息光栅制作中精确控制刻线密度的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-02-27, 公开日期: 2008-02-27
发明人:  巴音贺希格;  齐向东;  李英海;  于宏柱;  李文昊
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一种多区段四裂相指示光栅 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2349536, 申请日期: 1999-11-17, 公开日期: 1999-11-17
发明人:  张吉鹏;  董德水;  周浩
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