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端面摇摆式微型电磁电机工作原理及运动学分析 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 04, 页码: 71-75
作者:  贾智;  王立鼎;  梁静秋;  姚劲松
caj(27Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/73  |  提交时间：2013/03/11
微电子机械系统  端面摇摆  电磁微电机