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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [4]
作者
金春水 [1]
王丽萍 [1]
马冬梅 [1]
张宇 [1]
文献类型
期刊论文 [4]
发表日期
2015 [4]
语种
出处
中国激光 [1]
光学学报 [1]
农业工程学报 [1]
红外与激光工程 [1]
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资助机构
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发表日期:2015
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极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:
王君
;
王丽萍
;
金春水
;
苗亮
;
谢耀
caj(1576Kb)
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收藏
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浏览/下载:414/122
  |  
提交时间:2016/07/06
光学设计
极紫外光刻
可视化界面
初始结构
葵花籽壳纳米纤维素制备工艺优化及其表征
期刊论文
农业工程学报, 2015, 期号: 15, 页码: 302-308
作者:
陈珊珊
;
陶宏江
;
王亚静
;
马中苏
;
张丽萍
caj(1170Kb)
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收藏
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浏览/下载:378/167
  |  
提交时间:2016/07/06
优化
纳米晶体材料
纤维素
葵花籽壳
纳米纤维素
响应面法
制备
表征
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量
期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:
王辉
;
周烽
;
喻波
;
谢耀
;
于杰
;
刘钰
;
王丽萍
caj(1280Kb)
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收藏
  |  
浏览/下载:380/136
  |  
提交时间:2016/07/06
测量
光刻技术
有限元分析
高复现性支撑装置
薄膜均匀性测量
光纤相移点衍射干涉仪关键技术
期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者:
张宇
;
金春水
;
马冬梅
;
王丽萍
caj(1235Kb)
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收藏
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浏览/下载:313/101
  |  
提交时间:2016/07/06
高精度检测
光纤相移点衍射干涉仪
光学系统波像差
激光光源
光纤