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超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：489/138  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
分体式激光扩束系统平行度测量装置的设计 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 04, 页码: 789-795
作者:  张磊;  郭劲
caj(371Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：491/147  |  提交时间：2013/03/11
高功率激光系统  分体式扩束系统  平行度测量装置  装调  
应用坐标变换动态修正光电经纬仪脱靶量 期刊论文
光学精密工程, 2009, 卷号: 12, 期号: 17, 页码: 2939
作者:  王芳;  张春林
caj(247Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/80  |  提交时间：2012/09/25