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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
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期刊论文 [3]
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1999 [3]
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光学精密工程 [3]
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出处:光学精密工程
发表日期:1999
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宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计
期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 03, 页码: 19-22
作者:
柯常军
;
王占山
;
郑咏梅
;
张铁强
;
曹健林
;
陈星旦
caj(26Kb)
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提交时间:2013/03/11
平坦
软x射线多层膜
随机数
评价函数
软X射线多层反射膜的一种新型设计方法
期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 02, 页码: 18-21
作者:
柯常军
;
王占山
;
张铁强
;
曹健林
;
陈星旦
caj(74Kb)
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提交时间:2013/03/11
软x射线
多层膜
随机数
软X射线接触式显微术研究
期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 02, 页码: 27-33
作者:
刘毅楠
;
王占山
;
李哲
;
曹健林
;
林宜平
caj(95Kb)
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浏览/下载:394/56
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提交时间:2013/03/11
软x射线接触式显微术
生物样品
抗蚀膜
显影条件
曝光量