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X射线聚束透镜原理及其应用 期刊论文
微细加工技术, 1994, 期号: 04, 页码: 1-6
作者:  郭玉彬;  李福田
caj(185Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/114  |  提交时间：2013/03/11
X射线  透镜  光刻