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基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  吕强
caj(7246Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2020/08/24
精密测量  衍射光栅  多维度  大量程  误差分析  外差测量  Littow结构  
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：505/2  |  提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom  
超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  焦庆斌
Adobe PDF(5377Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：291/1  |  提交时间：2014/08/21
TMT三镜系统Rotator组件结构技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  苏燕芹
Adobe PDF(6237Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：363/1  |  提交时间：2014/08/21