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双子孔径差分扫描光路装调精度研究 期刊论文
, 2016
作者:  靳淳淇;  张晓辉
收藏  |  浏览/下载：180/0  |  提交时间：2017/09/17
子孔径  线矢量  精度研究  光电探测系统  重构算法  倾斜误差  精度需求  附加误差  运动装置  变换矩阵