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高精度无导轨位移平台误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 02, 页码: 313-320
作者:  曹佃生;  高云国
caj(846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：449/96  |  提交时间：2013/03/11
位移平台  直线度  耦合位移  柔性四杆机构  变形板