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PDMS氧等离子体长效活性表面处理及与Si的键合 期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 5
作者:  张平;  黎海文
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：449/51  |  提交时间：2012/09/25
基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵 期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 1
作者:  吴一辉;  张平
caj(430Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/65  |  提交时间：2012/09/25