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聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2007, 期号: 4
作者:  钟砚超;  梁静秋;  李小奇;  李伟;  王淑荣;  梁中翥;  孙德贵
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聚酰亚胺(Pi)  悬臂梁  有限元分析  光刻  
基于悬臂梁振动的主动控制技术研究 期刊论文
长春工业大学学报, 2007, 期号: 3
作者:  蒋宁
caj(112Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:333/33  |  提交时间:2012/09/25