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基于特殊悬臂梁的光纤Bragg光栅应力传感器 期刊论文
吉林大学学报[工学版], 2006, 卷号: 5, 期号: 36, 页码: 757
作者:  张鹰
caj(854Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/58  |  提交时间：2012/09/25
集成微光机械振动传感器芯片制作工艺研究 期刊论文
半导体光电, 2006, 卷号: 4, 期号: 27, 页码: 409
作者:  张平;  王淑荣
caj(278Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：220/25  |  提交时间：2012/09/25
聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计 期刊论文
传感技术学报, 2006, 卷号: 5, 期号: 19, 页码: 1735
作者:  梁静秋
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：258/18  |  提交时间：2012/09/25
微光机械振动传感器的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 1, 期号: 1, 页码: 61
作者:  张平
caj(189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：294/31  |  提交时间：2012/09/25