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压电驱动超精密定位工作台的研究 期刊论文
机械设计与研究, 2003, 期号: 02, 页码: 44-45+8
作者:  孙宝玉;  林洁琼;  王登月;  任建岳
caj(45Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/66  |  提交时间：2013/03/11
压电陶瓷微位移器件  精密定位  柔性铰链  线切割