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压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究 期刊论文
光学精密工程, 1994, 期号: 04, 页码: 64-68
作者:  荆涛
caj(177Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/42  |  提交时间：2013/03/11
误差补偿  压电陶瓷  微量位移