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主动调节刚性支撑薄膜型反射镜面形调整机构的研究 期刊论文
光学精密工程, 2002, 期号: 02, 页码: 201-204
作者:  叶露
caj(37Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：242/36  |  提交时间：2013/03/11
反射镜  轻量化  微动机构