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Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
System Signal-to-Noise Ratio Analysis of Hyperspectral Imaging Chain Model Based on Electron Multiplication 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 11
作者:  Yu, Da;  Liu, Jinguo;  He, Xin;  He, Jiawei;  Chen, Jiayu;  Zhang, Xiaoyang;  Peng, Chang
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Signal to noise ratio  Atmospheric radiation  Charge coupled devices  Detectors  Electrons  Hyperspectral imaging  Light transmission  Optical systems  Reflection  Spectroscopic analysis  Spectroscopy