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一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台 期刊论文
测试技术学报, 2003, 期号: 02, 页码: 138-140
作者:  解滨;  尼启良;  巩岩;  曹继红;  陈波
caj(53Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/72  |  提交时间：2013/03/11
极紫外多层膜  反射率  步进电机  平台  
二维激光扫描开环动态检测 期刊论文
测试技术学报, 1994, 期号: 01, 页码: 22-26
作者:  田雯;  安志勇
caj(148Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：363/53  |  提交时间：2013/03/11
激光扫描:6899  动态检测系统:6382  步进电机驱动:2570  开环:1375  精密机械:926  闭环检测:891  几何尺寸测量:693  定位误差:626  控制系统:571  测试技术:559