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小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 08, 页码: 202-208
作者:  张健;  代雷;  王飞;  王立朋
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光学制造  中频误差抑制  小磨头自适应抛光  Zernike残差  非球面  
基于逆补偿复合控制的抛光液供给系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 04, 页码: 366-371
作者:  尹志生;  郑楠;  于淼;  彭吉;  闫丰
caj(734Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:465/160  |  提交时间:2014/03/07
逆补偿  复合控制  抛光液供给