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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [2]
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出处:微细加工技术
专题:中科院长春光机所知识产出
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WOS被引频次升序
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磁悬浮进给机构的PID控制及仿真试验
期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 03, 页码: 62-65
作者:
宋文荣
;
于国飞
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何惠阳
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提交时间:2013/03/11
磁悬浮
进给机构
直线电机
Pid控制
仿真
六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究
期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 15-21
作者:
宋文荣
;
于国飞
;
王延风
;
何惠阳
;
田兴志
caj(77Kb)
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提交时间:2013/03/11
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