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厚膜微调技术及发展趋势 期刊论文
光机电信息, 2004, 期号: 06, 页码: 29-34
作者:  李文娟;  田兴志
caj(267Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/65  |  提交时间：2013/03/11
喷砂微调  脉冲电压微调  激光微调  
100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展 期刊论文
光机电信息, 2004, 期号: 05, 页码: 20-24
作者:  董吉洪;  田兴志;  李志来;  王明哲
caj(666Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：501/70  |  提交时间：2013/03/11
光刻机  工件台  掩模台  
厚、薄膜电阻激光快速微调技术 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 07, 页码: 23-26
作者:  张景旭;  田兴志
caj(191Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/91  |  提交时间：2013/03/11
薄膜电阻:5647  微调技术:5296  激光快速:4037  激光调阻:2987  光束定位:2213  能量传递:1802  激光微调:1635  切口形式:1290  理论分析:1132  计算机系统:1029