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Improved metal assisted chemical etching method for uniform, vertical and deep silicon structure 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017, 卷号: 27, 期号: 5
作者:  Miao, B.;  J. Zhang;  X. Z. Ding;  D. M. Wu;  Y. H. Wu;  W. H. Lu and J. D. Li
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Temperature insensitive mass sensing of mode selected phononic crystal cavity 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 卷号: 25, 期号: 12, 页码: 8
作者:  Li, P.;  F. Li;  Y. S. Liu;  F. F. Shu;  J. F. Wu and Y. H. Wu
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