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High-precision identification of a tip-tilt control system for the compensation of time delay 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 5
作者:  Wang, Y. K.;  Z. L. Cao;  L. F. Hu;  X. Y. Zhang;  D. Y. Li;  H. Y. Xu;  S. X. Wang;  Q. Q. Mu and L. Xuan
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Beam drift error and control technology for scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 14
作者:  Wang, W.;  Y. Song;  S. Jiang;  M. Z. Pan and Bayanheshing
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