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集成微光机械振动传感器芯片制作工艺研究 期刊论文
半导体光电, 2006, 卷号: 4, 期号: 27, 页码: 409
作者:  张平;  王淑荣
caj(278Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：220/25  |  提交时间：2012/09/25