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嵌入式静电驱动控制电源设计 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 4, 页码: 39-42
作者:  杨会生
Adobe PDF(384Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：384/105  |  提交时间：2012/05/11
硅光栅技术 期刊论文
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者:  栾光辉;  刘剑
caj(1040Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：439/71  |  提交时间：2013/03/11
硅光栅:8344  衍射光栅:2782  各向异性刻蚀:2681  制作工艺:2002  光刻胶:1650  闪耀光栅:1645  微机械:1511  微细加工技术:1326  多晶硅:1050  反射光栅:922  
微光机电系统国内外研究进展 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5
作者:  梁静秋
caj(1887Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/66  |  提交时间：2013/03/11
微光机电系统:9087  涡轮喷气发动机:2324  国内外研究:1475  微型机电系统:1430  微机器人:1346  微结构:1222  微加速度计:1182  微制造技术:1089  微驱动器:986  微机械:962