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丝杠精度双频激光干涉测量中的阿贝误差实时补偿 期刊论文
中国光学与应用光学, 2010, 卷号: 3, 期号: 3, 页码: 279-284
作者:  齐向东
caj(261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：224/32  |  提交时间：2012/09/25