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微光机械振动传感器的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 1, 期号: 1, 页码: 61
作者:  张平
caj(189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：294/31  |  提交时间：2012/09/25