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PMMA材料制作X射线组合透镜技术研究 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 60-64
作者:  梁静秋;  乐孜纯
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X射线组合透镜  三维聚焦性能  Pmma透镜  软x射线光刻  
BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性 期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 01, 页码: 13-21
作者:  邵景鸿;  徐正良
caj(934Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/66  |  提交时间：2013/03/11
X射线光刻  光束线  真空  扫描  铍窗