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一种非接触光电尺寸检测仪研制 期刊论文
仪器仪表学报, 1995, 期号: 01, 页码: 72-75
作者:  郑文学;  安伟;  谷东兵;  张剑家
caj(101Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：476/60  |  提交时间：2013/03/11
非接触测量:6442  尺寸检测:5923  位置传感器:3499  检测仪:2362  偏振分光棱镜:1173  临界角:1078  光斑位置:945  计算机辅助设计:944  软材料:814  光学系统:767