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二维阵列狭缝阿达玛光谱仪波长准确度研究 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 241-245
作者:  迟明波;  郝鹏;  吴一辉
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阿达玛光谱仪  二维阵列狭缝  波长准确度  Mems工艺