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闭磁场非平衡磁控溅射在光学薄膜中的应用 期刊论文
光机电信息, 2007, 期号: 9
作者:  陈楠;  贾克辉;  卜轶坤
Unknown(735Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：533/187  |  提交时间：2012/09/25
闭磁场  光学薄膜  磁控溅射