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锡磨盘定偏心平面研抛中材料去除模拟 期刊论文
仪器仪表学报, 2000, 期号: 01, 页码: 83-85
作者:  高宏刚;  曹建林;  张红霞;  殷伯华
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  抛光  超精密抛光  平面  模拟计算  
GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 58-63
作者:  谢伦;  高宏刚;  陈斌;  曹健林;  王建明;  刘琳
caj(81Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:416/77  |  提交时间:2013/03/11
超精密抛光  表面粗糙度  聚氨酯  Ligao_2  Sio_2