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磁悬浮微进给机构研究 期刊论文
中国机械工程, 2003, 期号: 13, 页码: 16-19+3
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳
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磁悬浮  微进给机构  直线电机  超洁净  进给精度