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负压吸附式环形气垫导轨的计算方法 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 05, 页码: 481-486
作者:  张星祥;  任建岳
caj(77Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/72  |  提交时间：2013/03/11
负压吸附导轨  承载能力  刚度