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离子刻蚀技术现状与未来发展 期刊论文
光学精密工程, 1998, 期号: 02, 页码: 8-15
作者:  任延同
caj(110Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/70  |  提交时间：2013/03/11
离子刻蚀技术  等子体刻蚀  反应离子刻蚀  离子束铣  聚焦离子刻蚀