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微电子机械前沿 期刊论文
中国科学院院刊, 1997, 期号: 04, 页码: 264-268
作者:  吕琼莹
caj(232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/39  |  提交时间：2013/03/11
微机械  纳米技术