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反应烧结碳化硅反射镜表面改性技术 期刊论文
光电工程, 2009, 期号: 1
作者:  徐领娣;  张学军;  王旭
Unknown(1525Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：476/182  |  提交时间：2012/09/25
反应烧结碳化硅  表面改性  表面粗糙度  离子辅助沉积碳化硅  超光滑表面