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高反射率13nmMo/Si多层膜 期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 149-153
作者:  刘毅楠;  马月英;  曹健林
caj(65Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/78  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  原子力显微镜  离子束溅射镀膜