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极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  王依
caj(7582Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/0  |  提交时间：2019/09/23
极紫外  X射线  增反膜  碳沉积  等离子体去除  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：472/120  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法